1 | Max.pracovný tlak 20,6 MPa. |
2 | Max.pracovná teplota 204 ℃ (vysokoteplotné prostredie až 454 ℃, v tomto čase je tesniaci materiál nahradený expandovaným grafitom) |
3 | Filtračný systém Sú použiteľné častice znečisťujúce látky, plyny, kvapaliny. |
4 | Presnosť filtra sintrovaného filtra z nehrdzavejúcej ocele práškovej metalurgie 2μm~40μm |
5 | Prietok filtra 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filter je možné vymeniť. |
Vlastnosti produktu Filter
1 | Široký rozsah použitia, rozsah prietoku od 15 do 300 SL / min. |
2 | Má dobrú kompatibilitu s väčšinou vysoko čistých polovodičových procesných plynov. |
3 | 3 kapacita filtrácie nanočastíc zachováva vysokú prietokovú účinnosť a ultra malý pokles tlaku. |
4 | 5Ra elektrolyticky leštený povrch môže zabrániť vnútornému znečisteniu. |
5 | Pečte s horúcim dusíkom po deionizovanej vode, aby ste splnili štandardy polovodičového procesu. |
6 | Bezprašné aseptické dielenské prostredie na úrovni 1000, čistenie a balenie. |
7 | Test na 100% únik hélia. |
Prívod | Outlet | |
1 | 1/8″ rúrková armatúra | 1/8″ rúrková armatúra |
2 | 1/4″ rúrková armatúra | 1/4″ rúrková armatúra |
3 | 3/8″ rúrková armatúra | 3/8″ rúrková armatúra |
4 | 1/2″ hadicová armatúra | 1/2″ hadicová armatúra |
5 | 6MM hadicová armatúra | 6MM hadicová armatúra |
6 | 8MM hadicová armatúra | 8MM hadicová armatúra |
7 | 10MM hadicová armatúra | 10MM hadicová armatúra |
8 | 12MM hadicová armatúra | 12MM hadicová armatúra |
9 | 1/8″ samica NPT | 1/8″ samica NPT |
10 | 1/4″ samica NPT | 1/4″ samica NPT |
11 | 1/4″ mužské NPT | 1/4″ mužské NPT |
12 | 3/8″ mužské NPT | 3/8″ mužské NPT |
13 | 1/2″ mužské NPT | 1/2″ mužské NPT |
Výkonnostné parametre produktu filtra
1 | Presnosť filtrovania | ≥0,0025 μm | |
2 | Účinnosť filtrácie | Rýchlosť odstraňovania99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Menovitý prietok | 15 l/min | |
4 | 60 l/min | ||
5 | 120 l/min | ||
6 | 200 l/min | ||
7 | 300 l/min | ||
8 | Zloženie filtra | filtračný prvok | 316L/PTFE |
9 | bývanie | nehrdzavejúca oceľ 316L | |
10 | Pracovné podmienky | Maximálny vstupný tlak | 21 MPa (310 kgf/cm2) |
11 | Maximálny diferenčný tlak | 15 MPa (153 kgf/cm2) | |
12 | Maximálna prevádzková teplota | 430 ℃ (inertný plyn) | |
13 | Rýchlosť úniku hélia | 1×10-9 atm.cc/s | |
14 | Povrchová úprava | ≤Ra 5μin |