Zariadenie na úpravu chvosta plynu dokáže zvládnuť plyny používané v procesoch leptania a procesov ukladania chemickej pary v polovodiče, kvapalnom kryštáli a solárnom priemysle, vrátane SIH4, WF6, WF6, NH3, N2O, N2O, a tak ďalej.
Metóda úpravy výfukových plynov
Podľa charakteristík spracovania výfukových plynov možno ošetrenie rozdeliť na štyri typy liečby:
1. Typ umývania vody (ošetrenie korozívnych plynov)
2. Oxidačný typ (riešenie horľavých a toxických plynov)
3. Adsorpcia (podľa typu adsorpčného materiálu na riešenie zodpovedajúceho výfukového plynu).
4. Typ spaľovania Plasma (všetky typy výfukových plynov je možné ošetrovať).
Každý typ liečby má svoje vlastné výhody a nevýhody, ako aj rozsah uplatňovania. Ak je metódou ošetrenia umývanie vody, zariadenie je lacné a jednoduché a dokáže zvládnuť iba plyny rozpustné vo vode; Rozsah aplikácie typu premytia elektrickej vody je vyšší ako rozsah typu umývania vody, ale prevádzkové náklady sú vysoké; Suchý typ má dobrú účinnosť ošetrenia a nie je použiteľný na prietok plynu, ktorý sa dá ľahko upchávať alebo plynúť.
Chemikálie a ich vedľajšie produkty, ktoré sa bežne používajú v polovodičovom priemysle, sa dajú kategorizovať podľa ich chemických vlastností a rôznych rozsahov:
1. Horľavé plyny, ako je Sih4H2, atď.
2. Toxické plyny ako ASH3, PH3 atď.
3. Korozívne plyny ako HF, HCL atď.
4. Greenhouse plyny ako CF4, NF3 atď.
Pretože vyššie uvedené štyri plyny sú škodlivé pre životné prostredie alebo ľudské telo, musia zabrániť jeho priamej emisii do atmosféry, takže všeobecná polovodičová elektráreň je inštalovaná s veľkým centralizovaným systémom čistenia výfukových plynov, ale tento systém je iba vodným čistením výfukových plynov, takže jeho aplikácia je obmedzená na plynné plyny s dlhým vzdialenosťou a nedokáže sa zaoberať neustále sa meniacimi a jemnými rozdelením semikonduktorového plynu. Preto je potrebné vybrať a zodpovedať zodpovedajúcim zariadeniam na úpravu výfukového plynu podľa charakteristík plynu odvodených z každého procesu, aby sa problém výfukových plynov vyriešil malým spôsobom. Pretože pracovná oblasť je väčšinou mimo centrálneho systému čistenia výfukových plynov, často v dôsledku charakteristík plynu vedie k kryštalizácii alebo akumulácii prachu v potrubí, čo vedie k upchávaniu plynovodu, čo vedie k úniku plynu, a vo vážnych prípadoch, dokonca ani výbuchu, nemôže zabezpečiť, aby pracovná bezpečnosť zamestnancov. Preto v pracovnej oblasti musí nakonfigurovať malé vybavenie na úpravu výfukového plynu vhodného pre charakteristiky procesného plynu, aby sa znížil stagnujúci výfukový plyn v pracovnej oblasti, aby sa zaistila bezpečnosť personálu.
Čas príspevku: august-10-2023