Celá vysoká čistota, vysoká čistota v čistom dusíkovom potrubí sa vyžaduje dodávka do prístroja (POU) cez potrubie. Aby sa dosiahli požiadavky na kvalitu nástroja, v prípade ukazovateľov výstupu plynu je potrebné venovať väčšiu pozornosť systému potrubia, výberu materiálu a kvality výstavby. Okrem presnosti plynového alebo čistiaceho zariadenia je do značnej miery ovplyvnená mnohými faktormi plynovodu. Výber potrubí by preto mal dodržiavať príslušné priemyselné zásady a uviesť materiál potrubia.
Materiál čistého potrubia dusíka sa vyberie podľa potrieb použitia a 316L BA sa bežne používa v kontakte s čipom, ale nezúčastňuje sa procesu reaktívneho procesu. Drsnosť povrchu v trubici je štandardom na meranie kvality potrubia. Čím nižšia je drsnosť, možnosti prenášania častíc sa výrazne znížia.
Čisté potrubia dusíka môžu absorbovať asi 200 g plynu na tonu počas tavenlivého materiálu z nehrdzavejúcej ocele. Nerezová oceľ je spracovaná, nielen povrch je lepidlo, ale aj určité množstvo plynu je tiež ovplyvnené kovovou mriežkou. Ak je v potrubí prietok vzduchu, táto časť plynu sa nachádza v kovu, znovu vstúpi do prúdu vzduchu a znečisťuje čistý plyn. Ak intraktívny tok trubice nie je nepretržitý tok.
Keď je potrubie adsorbované pod tlakom, plyn je adsorbovaný, plyn sa zastavuje a plyn adsorbovaný potrubím vytvoril analýzu zostupu a analyzovaný plyn sa tiež používa ako nečistoty do čistého plynu v rúrke. Zároveň adsorpcia, analyzujte, takže povrch potrubia tiež vytvára určitý prášok, ktorý je tiež čisteným plynom v skúmavke. Táto vlastnosť potrubia čistého plynu je kritická, aby sa zabezpečila čistota dodaného plynu, nielen veľmi vysoká hladkosť vnútorného povrchu, ale aj vysoké charakteristiky odolné voči opotrebeniu.
Ak je plyn v korózii silný, je potrebné použiť potrubie z nehrdzavejúcej ocele odolnej voči korózii. V opačnom prípade bude potrubie potrubia čistého plynu generovať korózne škvrny v dôsledku korózie a dôjde k veľkému kovovému stripovaniu alebo dokonca perforácii, a tým aj znečistenie čistým plynom čistým plynom.
Čas príspevku: mar-07-2022