Rôzne chemikálie a plyny používané vo výrobe polovodičov vyžadujú robustné tekuté systémy na nepretržité dodávky v každej fáze výroby. Tieto tekuté systémy musia byť schopné podporovať extrémne podmienky procesu potrebné pre výrobu polovodičov a zároveň zabezpečiť čistý, bez úniku a kontrolovaný proces. Výber komponentov tekutého systému je preto kritický v procese výroby precíznych polovodičov.
Výber vysokokvalitných komponentov tekutého systému je synonymom zvýšenej výrobnej účinnosti a zníženého prestoja systému. Pokiaľ ide o proces výroby polovodičov, budeme diskutovať o kritickej úlohe komponentov tekutého systému a o dôležitosti ich spoľahlivosti.
Dôležitosť komponentov tekutého systému vo výrobe polovodičov
Komponenty tekutého systému vo výrobe polovodičov zahŕňajú rôzne systémy miešania, sprostredkovania a riadenia chemikálií na bezpečné prepravu chemických tekutín v kontrolovanom prostredí. Ideálny tekutý systém má:
➢ Rovnomerné chemické miešanie
➢ Kontaminácia
➢TeMperatúra a riadenie tlaku
➢Umenterupted Chemical Dodávka
Iba komponenty najvyššej kvality môžu poskytnúť také ideálne podmienky v polovodičovom systéme. Výhody použitia takýchto komponentov zahŕňajú:
Presné: Komponenty, ako sú ventily, regulátory a čerpadlá, pracujú v tandeme, aby sa zabezpečilo, že do výrobnej bunky sa dodáva správny podiel chemikálie. Presné vstupy eliminujú riziko variácií prietoku, čo zlepšuje kvalitu konečného produktu.
Kompatibilita a čistota: Komponenty tekutého systému so zložením materiálu, ktoré sú kompatibilné s procesnými tekutina, znižujú riziko kontaminácie. Okrem toho inštalácia týchto komponentov tohto systému bez úniku znižuje kontaminanty častíc a poskytuje čisté a kontrolované výrobné prostredie pre zlepšené výnosy.
Bezpečnosť: Plyny a chemikálie používané pri výrobe polovodičov môžu byť škodlivé pre ľudské zdravie. Komponenty tekutého systému navrhnuté tak, aby zabránili únikom a únikom, však môžu tieto tekutiny dodať bezpečne a kontrolovaným spôsobom.
Účinnosť: Konštrukcia bez únikov a presná kontrola vysokokvalitných komponentov tekutého systému minimalizuje prevádzkové prestoje a časté požiadavky na údržbu, čo podporuje plynulú a efektívnu výrobu, aby sa splnilo výrobné ciele.
Kvalitné riešenia komponentov s kvalitným tekutým systémom
Komponenty tekutého systému vyžadujú vysokokvalitné zariadenia na splnenie problémov výroby polovodičov. Kľúčové komponenty, ktoré ovplyvňujú FAB, zahŕňajú:
Ventily: Vysoko výkonné ventily, ako sú membrána, vlnovce alebo ihlové ventily, v ideálnom prípade regulujú prietok tekutiny vo výrobných zariadeniach. Trvalé, vysokokvalitné ventily poskytujú presnosť a kontrolu potrebnú na zlepšenie efektívnosti procesov výroby a manipulácie pre kritickú výrobu polovodičov.
Kovania: Vysoké čistoty pre hadičky a hadicové systémy a ďalšie kritické komponenty poskytujú uzavreté spojenia na zvýšenie bezpečnosti a čistoty komponentov tekutého systému.
Hadice: Pre presné výrobné požiadavky pomáhajú izolované hadice pri tepelnom manažmente, aby sa mohli optimálne udržiavať podmienky procesu vo výrobnej miestnosti. Je to dôležité, pretože najmenšie kolísanie teploty môže poškodiť čipy a viesť k výrobnému odpadu.
Flexibilné hadičky: Ak podmienky umožňujú, flexibilné hadičky sa môžu použiť na zníženie počtu tvaroviek v zostave tekutého systému. Hadička je ohnutá, aby sa získala požadovaná dráha tekutín. Menej armatúry znamená menšie riziko úniku a poškodenia v dôsledku vibrácií a pohybu.
Regulátory: Regulátory účinne kontrolujú tlak v každej fáze procesu výroby polovodičov. Konštantný a presný prietok dosahuje konzistentné a kvalitné výťažky a zároveň sa vyhýbajú plytvaným chemikáliám tekutín a špeciálnymi materiálmi.
Filtre: Jedna častica môže ovplyvniť výkon polovodiča. Použitie filtrov s ultra vysokou čistotou eliminuje kontamináciu častíc a minimalizuje poškodenie čipu.
Účinnosť tekutého systému vo výrobe polovodičov sa dá dosiahnuť pomocou širokej škály vysoko kvalitných ventilov, príslušenstva, regulátorov, hadíc a filtrov AFK-Lok.
Čas príspevku: október-09-2023