Používanie plynov v polovodičovom priemysle siaha až do začiatku 50. až 60. rokov 20. storočia. Počas procesu výroby polovodičov sa plyny používajú hlavne na čistenie a ochranu polovodičových materiálov, aby sa zabezpečila ich čistota a kvalita. Medzi najbežnejšie používané plyny patria dusík a vodík.
S vývojom technológie polovodičov vyvinutých a výrobných procesov sa naďalej zlepšovali, dopyt po plynoch sa zvýšil. V roku 1970 sa postupne zvyšoval ďalší vývoj technológie výroby polovodičov, aplikácia plynov v kľúčových procesoch, ako je leptanie a depozícia tenkých filmov, a fluoridové plyny (napr. SF6) a kyslík sa bežne používajú leptané a depozičné plyny. 1980 zaznamenal ďalšie zvýšenie dopytu po plynoch s vývojom integrovaných obvodov a zvýšením dopytu po ne. Vo výrobnom procese sa široko používal vodík, vrátane žíhania vodíka a ukladania pary vodíka. Od roku 1990 do súčasnosti sa zvýšil dopyt po vysokých čistiacich plynoch a konkrétnych plynoch, keď sa veľkosť polovodičových zariadení naďalej zmenšovala a zaviedli sa nové procesy. Napríklad aplikácia extrémnej ultrafialovej litografie (EUV) vyžaduje použitie extrémne vysokokvalitných plynov, ako je dusík a vodík.
Polovodičový plyn sa naďalej zvyšuje s vývojom súvisiacich výrobkov poháňaných čoraz viac výrobkami, zatiaľ čo plyn tiež patrí do zdroja nebezpečenstva, takže výrobky používané na dekompresiu plynu, detekčné výrobky na detekciu plynu a výrobky z úniku plynu sa objavili, ako sú tlakové regulátory, plynové tlakové meradlá, meradlá plynu, gauges plynu, atď. A ich roly sú podľa nasledujúce: ich roly sú tieto:
Regulátory tlaku: Regulátory tlaku sú zariadenia používané na reguláciu tlaku plynu. Zvyčajne sa skladajú z regulačného ventilu a tlakového senzora. Tlakové regulátory prijímajú vysokotlakový vstup plynu a stabilizujú tlak výstupného plynu nastavením ventilu tak, aby splnili konkrétne požiadavky na aplikáciu. Regulátory tlaku sa široko používajú v oblastiach, ako je priemysel, výroba a laboratóriá, ako aj v polovodičovom priemysle, na zabezpečenie stability a bezpečnosti dodávky plynu.
Plynové ventily: plynové ventily sa používajú na reguláciu prietoku plynov a na zatváranie plynových priechodov. Zvyčajne majú funkciu zapnutia/vypnutia, ktorá sa otvára alebo uzatvára tok plynu. Existujú rôzne typy plynových ventilov vrátane manuálnych ventilov, elektrických ventilov a pneumatických ventilov. Všeobecne sa používajú v plynových systémoch na reguláciu prietoku, tlaku a prietoku plynov.
Meradlá tlagy plynu: Na meranie hladiny tlaku plynu sa používajú tlagy plynu. Zvyčajne sa inštalujú na kritických miestach v plynárenských systémoch, aby monitorovali zmeny tlaku a zabezpečili, že sú v rámci bezpečných limitov. Meradlá tlaku plynu sa široko používajú v priemysle, výrobe a laboratóriách a bol zapojený aj polovodičový priemysel.
Detektory úniku plynu: Detektory úniku plynu sa používajú na detekciu únikov v plynových systémoch. ZisťujúPrítomnosť úniku plynu a zvuku alarmu tak, aby bolo možné podniknúť včasné konanie, aby sa zabránilo nehodám. Detektory úniku plynu sa široko používajú v priemyselných, chemických, ropných a plynových aplikáciách a do dotykového priemyslu sa zapojil aj polovodičový priemysel.
Čas príspevku: február-20-2024