Ako rastie polovodičový trh, štandardy pre čistotu a presnosť sú prísnejšie. Jedným z určujúcich faktorov v kvalite výroby polovodičov sú plyny používané v tomto procese. Tieto plyny zohrávajú vo výrobnom procese veľa úloh, vrátane:
Riadenie procesu
Prevencia kontaminácie
Vylepšenie metalurgických nehnuteľností
Na efektívne vykonávanie týchto úloh musí byť systém dodávok a distribúcie plynu efektívny. Návrh systémov manipulácie s plynom používanými pri výrobe polovodičov musí byť podporovaný robustnými komponentmi a prispôsobenými zostavami, aby sa zabezpečila spoľahlivé a vysoko kvalitné výroba polovodičov.
Plyny používané vo výrobe polovodičov
Proces výroby polovodičov vyžaduje použitie rôznych plynov v rôznych fázach procesu.
Zatiaľ čo bežné plyny, ako sú dusík, vodík, argón a hélium, sa môžu používať v čistej forme, určité procesy môžu vyžadovať špecializované zmesi. Silany alebo siloxány, hexafluoridy, halogenidy a uhľovodíky sú niektoré zo špeciálnych plynov používaných pri výrobe polovodičov. Mnohé z týchto plynov môžu byť nebezpečné alebo vysoko reaktívne, čo vytvára výzvy pri výbere a navrhovaní komponentov pre plynové systémy.
Tu je niekoľko príkladov:
\ Vodík a hélium môžu ľahko uniknúť zo systémov potrubia a tvarovania kvôli ich malej atómovej veľkosti a hmotnosti.
\ Silány sú vysoko horľavé a môžu spontánne spaľovať (autoignit) vo vzduchu.
\ Difluorid dusíka používaný v depozícii, leptovné a čistiace štádiá komory sa pri úniku do životného prostredia stáva silným skleníkovým plynom.
\ Fluorid vodíka (leptaný plyn) je vysoko korozívny k kovovým potrubiam.
\ Trimetylgallium a amoniak môžu byť ťažko zvládnuteľné - malé kolísanie ich požiadaviek na teplotu a tlak môžu ovplyvniť proces depozície.
Podmienky riadenia procesu na minimalizáciu negatívnych účinkov týchto plynov musia byť najvyššou prioritou počas návrhu systému. Rovnako je dôležité používať počas procesu zostavenia komponenty najvyššej kvality, ako sú napríklad ventily AFK membrány.
Riešenie problémov s návrhom systému
Plyny polovodičového stupňa sú vo väčšine prípadov vysokej čistoty a poskytujú inertné podmienky alebo zvyšujú reakcie v rôznych štádiách výrobného procesu, ako sú leptania a depozičné plyny. Únik alebo kontaminácia takýchto plynov môže mať negatívne účinky. Preto je rozhodujúce pre komponenty systému používané na hermeticky utesnené a odolné proti korózii a majú hladký povrch povrchu (elektrolytické leštenie), aby sa zabezpečilo, že neexistuje možnosť kontaminácie a aby sa mohla zachovať extrémne vysoká úroveň čistoty.
Okrem toho sa niektoré z týchto plynov môžu zahriať alebo ochladiť, aby sa dosiahli požadované podmienky procesu. Dobre izolované komponenty zabezpečujú reguláciu teploty, čo je rozhodujúce pre efektívny výkon konečného produktu.
Od vstupu zdroja až po miesto, ktoré sa používa, široký rozsah komponentov AFK podporuje ultra vysokú čistotu, teplotu, reguláciu tlaku a prietoku požadovanú v polovodičových čistiacich prostriedkoch a vákuových komorách.
Navrhnuté systémy s kvalitnými komponentmi v polovodičoch Fabs
Úloha kvalitných komponentov a optimalizácie dizajnu je rozhodujúca pre presnú kontrolu a bezpečnú výrobu polovodičov. Použité komponenty musia byť robustné a bez úniku, aby zodpovedali rôznym podmienkam procesu požadovaných v rôznych fázach výroby. Kvalitné ventily, príslušenstvo, príslušenstvo, regulátory, regulátory, regulátory, potrubia a tesniace konzoly sa vyznačujú nasledujúcimi vlastnosťami:
Ultra vysoká čistota
Tesnenia bez úniku
Izolácia regulovaná teplotou
Riadenie tlaku
Odpor
Ošetrenie elektrolytického leštenia
Čas príspevku: október-09-2023