Výrobný proces elektronických špeciálnych plynov zahŕňa niekoľko procesov, ako je syntéza, čistenie, výplň, analýza a testovanie, miešanie a proporcie. Aby sa splnili následné požiadavky na výrobu polovodičov týkajúcich sa obsahu čistoty a nečistoty, proces čistenia je veľmi dôležitý. V závislosti od zloženia plynu syntézy proti prúdu alebo surového plynu sa vykonáva destilácia nízkej teploty alebo viacstupňové čistenie.
Požiadavky na vysokú čistotu
Proces prípravy elektronických špeciálnych plynov možno rozdeliť na dva hlavné bloky prípravy a čistenia syntézy proti prúdu, ktorý patrí do procesu chemickej výroby. Veľkosť výrobného potrubia je veľká a neexistuje žiadna požiadavka na úroveň čistoty. Po čistení po prúde je produkt naplnený plynom a zmiešaný na prípravu. Výrobný plynovod je malý a má požiadavky na úroveň čistoty. Musí splniť štandardnú špecifikáciu procesu výroby polovodičov.
Požiadavky na vysoké tesnenie
Vďaka svojej chemickej aktivite kladú elektronické špeciálne plyny vysoké požiadavky na materiály a utesnenie systému výrobného procesu. Rovnako ako požiadavky výroby polovodičov, zabraňuje úniku rozhrania spôsobené zavedením nečistôt alebo koróziou špeciálnych plynov. Systém sa môže použiť aj na zabránenie zavedenia nečistôt alebo úniku rozhrania spôsobeného koróziou špeciálnych plynov.
Požiadavky na stabilitu vysokej kvality
Kvalita elektronických špeciálnych plynov zahŕňa množstvo ukazovateľov, ako je obsah čistoty a nečistota. Akákoľvek zmena v ukazovateľoch ovplyvní výsledky následného procesu výroby polovodičov. Preto, aby sa zabezpečila konzistentnosť elektronických ukazovateľov špeciálneho plynu, je veľmi dôležitý aj systém procesu prípravy na kontrolu stability ukazovateľov.
Vďaka chemickej aktivite a požiadavkám na kvalitu EGP musí výrobný systém pre prípravu EGP, najmä systém čistenia po prúde, spĺňať požiadavky materiálov s vysokou čistotou, vysoké tesnenie, vysokú čistotu a vysokú kvalitu konzistencie a výstavba inžinierskych komponentov musí spĺňať normy priemyslu výroby polovodičov.
To, čo sa bežne označujeme ako „vysoká čistota“, je teoreticky definícia čistoty látky, ako sú plyny s vysokou čistotou, chemikálie s vysokou čistotou atď. Procesné systémy alebo komponenty procesného systému, ktoré sa používajú na látky s vysokou čistotou, sa tiež označujú ako vysoké čistoty, ako sú systémy s vysokou čistotou a vysokokvalitné ventily. Elektronické systémy na prípravu špeciálneho plynu vyžadujú aplikácie s vysokou čistotou, ventily a iné komponenty tekutín, tj, tvarovky a ventily, ktoré sa spracúvajú pomocou materiálov s vysokou čistotou a čistými výrobnými procesmi a sú štruktúrované pre ľahké čistenie a čistenie. S vysokým tesniacim výkonom. Tieto tekuté komponenty sú navrhnuté tak, aby vyhovovali dráhe toku procesu aplikácie, pomocou inžinierskych a konštrukčných požiadaviek v polovodičovom priemysle.
Vysoko čistota potrubné spojenia
VCR kovové tesnenia tesnenia tesnenia a automatické pripojenie k zvaru vodiacich zvarov sa široko používajú pri náročných požiadavkách na proces čistenia tekutiny v dôsledku schopnosti splniť hladký prechod prietokovej dráhy pri pripojení, bez stagnačnej zóny a vysoký tesniaci výkon. Pripojenia VCR tvoria úzke povrchové tesnenie extrudovaním relatívne mäkkého kovového tesnenia. Opakovateľný a konzistentný výkon spojenia a tesnenia sa zaisťuje zakaždým, keď sa deformované tesnenie odstráni a vymení.
Rúrky sa zvárajú pomocou automatického systému orbitálneho zvárania. Trubica je chránená plynom s vysokou čistotou zvnútra aj zvonka. Elektróda volfrámu sa otáča pozdĺž obežnej dráhy pre vysoko kvalitné zváranie. Plne automatizované orbitálne zváranie topí potrubie bez zavedenia iných materiálov, pričom pri manuálnom zváraní je ťažké dosiahnuť vysoko kvalitný zvar opakovaným ovládaním tenkej steny.
VCR pripojenie tesnenia tesnenia kovového tesnenia
Automatické orbitálne zváracie pripojenie potrubí
Vysoká čistota ventily
Chemická aktivita horľavých, výbušných, korozívnych a toxických elektronických špeciálnych plynov kladie vysoké požiadavky na utesnenie ventilu. Aby sa zlepšila spoľahlivosť tesnenia, požiadavka na balenie bez balenia na zabránenie vonkajšiemu úniku, tj prepínanie prevádzky stonky ventilu a telesa ventilu medzi tesnením pomocou kovových vlnovcov alebo kovovej membrány, aby sa eliminoval únik v dôsledku deformácie oderu a balenie tesnenia. Bellows utesnené a membránové utesnené ventily sa bežne používajú v procesných systémoch pre vysokokvalitné aplikácie z dôvodu väčšej spoľahlivosti tesnení a ľahšieho čistenia a výmeny vnútorných ventilov ventilu.
Bellows utesnené ventily sú konštrukcia ihlového ventilu bez balenia, ktorá umožňuje pomalé reguláciu otvorenia a toku. Používa sa na elektronickú výplň špeciálneho plynu s požiadavkami na bezpečnostné toky alebo na fľašiach s prekurzorom s vysokými bezpečnostnými požiadavkami. Tesniny hrotu s kmeňovým kmeňom umožňujú extrémne nízke prevádzkové teploty a používajú sa na kryogénnu skvapalnenie elektronických špeciálnych plynov v nádržiach hotových produktov po kryogénnej destilácii potrubia.
Semeňačný ventil bez pružinovej membrány je ventil 1/4 ″ Snap-Open, ktorý sa používa ako automaticky riadený spínací ventil v dodávkovom potrubí. Bežne sa používajú v ultra vysokých tlakových aplikáciách s vysokou čistotou kvôli ich jednoduchej vnútornej dráhe toku, malého vnútorného objemu a ľahkej čistenia a výmeny.
Ventily utesnené membrámi, ktoré sa zatvárajú cez špičku stonky, sa môžu otvárať pomaly a používať sa pri vyšších prevádzkových tlakoch ako nevytvrdzované ventily utesnené membránami. Všeobecne sa používajú na vysokotlakové elektronické fľaše na výplň so špeciálnym plynom alebo prekurzorové fľaše.
Ventil sekundárneho tesnenia sa môže používať nielen v systémoch procesu s nízkym teplotným procesom pri -200 stupňov, ale tiež zabraňuje úniku nebezpečných médií do atmosféry. Zvyčajne sa používa na veľmi nebezpečné elektronické špeciálne plyny, ako je napríklad systém plnenia silánov.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, s viac ako 10-ročnými skúsenosťami so zásobovaním priemyselných a špeciálnych plynov, materiálov, systémov dodávok plynu a plynového inžinierstva pre polovodiče, LED, DRAM, TFT-LCD trhy, môžeme vám poskytnúť potrebné materiály na posunutie vašich výrobkov do predného odvetvia. Dokážeme nielen dodať širokú škálu ventilov a tvaroviek pre polo vodivé elektronické špeciálne plyny, ale aj pre našich zákazníkov môžeme navrhnúť plynové potrubie a inštaláciu zariadení. Ak máte v tejto oblasti nejaké potreby, kontaktujte nás na čísle 27919860.
Čas príspevku: júl 19-2023