Technológia plynových potrubí s vysokou čistotou je dôležitou súčasťou systému dodávania plynu s vysokým čistom, čo je kľúčová technológia na dodanie požadovaného plynu s vysokým čistom v mieste používania a stále si zachováva kvalifikovanú kvalitu; Technológia s vysokou čistotou plynových potrubí obsahuje správny návrh systému, výber armatúry a príslušenstva, konštrukciu a inštaláciu a testovanie. V posledných rokoch stále prísne prísne požiadavky na obsah čistoty a nečistoty v plynoch s vysokou čistotou pri výrobe mikroelektronických výrobkov predstavovaných rozsiahlymi integrovanými obvodmi spôsobili, že technológia potrubia vysoko čistých plynov sa čoraz viac týkala a zdôrazňovala. Nasleduje stručný prehľad plynových potrubí s vysokou čistotou pri výbere materiáluof výstavba, ako aj prijatie a denné riadenie.
Typy bežných plynov
Klasifikácia bežných plynov v elektronickom priemysle：
Bežné plyny（Objemový plyn）: Vodík (H2), dusík (n2), kyslík (o2), argon (a2), atď.
Špecializované plynysú sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bccl3 ,SIF4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2o,F2,HF,HBR SF6…… atď.
Druhy špeciálnych plynov možno vo všeobecnosti klasifikovať ako korozívneplyn, toxickýplyn, horľavýplyn, horľavéplyn, inertnýplynatď. Bežne používané polovodičové plyny sa vo všeobecnosti klasifikujú nasledovne.
i) korozívne / toxicképlyn: Hcl, bf3, Wf6, HBR, Sih2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bcl3... atď.
(ii) Horľavosťplyn: H2, Chy4, Sih4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Chvály3F, Co ... atď.
iii) horľavosťplyn: O2, Cl2, N2O, nf3… Atď.
(iv) inertplyn: N2, Porovnaj4, C2F6, C4F8,SF6, Co2, NE, KR, on ... atď.
Mnoho polovodičových plynov je škodlivých pre ľudské telo. Najmä niektoré z týchto plynov, ako napríklad Sih4 spontánne spaľovanie, pokiaľ únik bude prudko reagovať s kyslíkom vo vzduchu a začne horieť; a popol3Vysoko toxický, akýkoľvek malý únik môže spôsobiť riziko ľudského života, je to kvôli týmto zjavným nebezpečenstvám, takže požiadavky na bezpečnosť návrhu systému sú obzvlášť vysoké.
Aplikácia Rozsah plynov
Ako dôležitá základná surovina moderného priemyslu sa široko používajú plynové výrobky a veľké množstvo bežných plynov alebo špeciálnych plynov sa používa v metalurgii, oceli, ropu, chemickom priemysle, strojoch, elektronike, skle, keramiky, stavebných materiáloch, stavebníctve, spracovaní potravín, lekárskych a lekárskych odvetviach. Aplikácia plynu má dôležitý vplyv najmä na vysoké technológie týchto oblastí a je to nevyhnutný plyn alebo procesný plyn so surovinou. Iba s potrebami a propagáciou rôznych nových priemyselných sektorov a modernej vedy a techniky môžu byť výrobky plynárenského priemyslu vyvinuté skokmi a hranicami z hľadiska rozmanitosti, kvality a množstva.
Aplikácia plynu v mikroelektronike a polovodičovom priemysle
Používanie plynu vždy zohralo dôležitú úlohu v polovodičovom procese, najmä v polovodičovom procese sa široko používa v rôznych odvetviach, od tradičného ULSI, TFT-LCD až po súčasný mikropodnikto-mechanický (MEMS) priemysel, z ktorých všetky používajú tzv. Semiconductor proces ako výrobný proces výrobkov. Čistota plynu má rozhodujúci vplyv na výkonnosť komponentov a výnosov výrobkov a bezpečnosť dodávky plynu súvisí so zdravím personálu a bezpečnosti prevádzky rastlín.
Význam vysokoškolských potrubí pri vysokej čistej preprave plynu
V procese topenia z nehrdzavejúcej ocele a výroby materiálu sa môže asi 200 g plynu absorbovať na tonu. Po spracovaní nehrdzavejúcej ocele, nielen jej povrchovej lepkavej s rôznymi kontaminantmi, ale aj v kovovej mriežke tiež absorbovala určité množstvo plynu. Ak je potrubie prúdenie vzduchu, kov absorbuje túto časť plynu znova vstúpi do prúdenia vzduchu, znečisťuje čistý plyn. Keď je prietok vzduchu v trubici diskontinuálny prietok, trubica adsortuje plyn pod tlakom a keď sa prietok vzduchu zastaví, plyn adsorbovaný trubicou tvorí tlakový pokles na vyriešenie a rozlíšený plyn tiež vstupuje do čistej plynu v trubici ako nečistoty. Zároveň sa opakuje adsorpcia a rozlíšenie, takže kov na vnútornom povrchu trubice tiež vytvára určité množstvo prášku a tieto kovové prachové častice tiež znečisťujú čistý plyn vo vnútri skúmavky. Táto charakteristika skúmavky je nevyhnutná na zabezpečenie čistoty prepraveného plynu, čo vyžaduje nielen veľmi vysokú hladkosť vnútorného povrchu trubice, ale aj vysoký odpor opotrebenia.
Ak sa používa plyn so silným korozívnym výkonom, na potrubie sa musia použiť potrubia z nehrdzavejúcej ocele odolnej voči korózii. V opačnom prípade bude potrubie produkovať korózne škvrny na vnútornom povrchu v dôsledku korózie a vo vážnych prípadoch bude existovať veľká plocha kovového stripovania alebo dokonca perforácie, ktorá kontaminuje distribúciu čistého plynu.
Spojenie potrubí prenosu a distribúcie plynu s vysokou čistotou a vysokou čistotou s veľkými prietokovými rýchlosťami.
V zásade sú všetky zvárané a použité skúmavky sa vyžadujú, aby pri uplatňovaní zvárania nezmenili organizáciu. Materiály s príliš vysokým obsahom uhlíka podliehajú priepustnosti zváraných častí pri zváraní, čo spôsobuje vzájomnú penetráciu plynov vo vnútri a mimo potrubia a ničí čistotu, suchosť a čistotu prenášaného plynu, čo vedie k strate všetkého nášho úsilia.
Stručne povedané, pre plynové a špeciálne plynové potrubie plynu a špeciálne plynové potrubie je potrebné používať špeciálne ošetrenie potrubia z nehrdzavejúcej ocele s vysokou čistotou, aby sa dosiahnutie vysokoškolského potrubia (vrátane potrubí, armatúry, ventilov, VMB, VMP) v distribúcii plynu s vysokou čistotou zaberá životne dôležité poslanie.
Všeobecná koncepcia čistej technológie pre prenos a distribučné potrubia
Vysoko čistý a čistý prenos tela plynu s potrubím znamená, že existujú určité požiadavky alebo kontroly na prepravu troch aspektov plynu.
Čistota plynu: Obsah atmosféry nečistoty v čistote GGAS: Obsah atmosféry nečistoty v plyne, zvyčajne vyjadrený ako percento čistoty plynu, ako je 99,9999%, tiež vyjadrený ako objemový pomer obsahu atmosféry PPM, PPM.
Suchosť: Množstvo stopovej vlhkosti v plyne alebo množstvo nazývané vlhkosť, zvyčajne vyjadrené z hľadiska rosného bodu, ako je napríklad point rosy atmosférického tlaku -70. C.
Čistota: Počet častíc kontaminantov obsiahnutých v plyne, veľkosť častíc µm, koľko častíc/m3 na exprimovanie, pre stlačený vzduch, zvyčajne tiež vyjadrené z hľadiska toho, koľko mg/m3 nevyhnutných tuhých zvyškov, ktoré pokrývajú obsah oleja.
Klasifikácia veľkosti znečisťujúcich látok: Častice znečisťujúcich látok, najmä na čistenie potrubia, opotrebenie, koróziu generované kovovými časticami, častice atmosférických sadzí, ako aj mikroorganizmy, fágy a kužeľové kvapky obsahujúce vlhkosť, sa rozdeľujú na veľkosť jeho veľkosti častíc na základe veľkosti jeho častíc do veľkosti častíc, sa rozdeľujú na kvapôčky kondenzácie častíc atď.
a) Veľké častice - veľkosť častíc nad 5 μm
b) Častice-priemer materiálu medzi 0,1 μm-5 μm
C) Ultra-mikro častice-veľkosť častíc menšia ako 0,1 μm.
Aby sa zlepšila aplikácia tejto technológie, aby bola schopná vnímať porozumenie veľkosti častíc a μM jednotiek, je k dispozícii sada špecifických stavu častíc pre referenciu
Nasleduje porovnanie špecifických častíc
| Meno /veľkosť častíc (µm) | Meno /veľkosť častíc (µm) | Názov/ veľkosť častíc (µm) |
| Vírus 0,003-0.0 | Aerosól 0,03-1 | Aerosolizovaný mikrodroplet 1-12 |
| Jadrové palivo 0,01-0.1 | Farba 0,1-6 | Fly Ash 1-200 |
| Black Black 0,01-0.3 | Mlieko Prášok 0,1-10 | Pesticíd 5-10 |
| Živica 0,01-1 | Baktérie 0,3-30 | Cementový prach 5-100 |
| Cigaretový dym 0,01-1 | Pieskový prach 0,5-5 | Peľ 10-15 |
| Silikón 0,02-0.1 | Pesticíd 0,5-10 | Ľudské vlasy 50-120 |
| Kryštalizovaná soľ 0,03-0,5 | Koncentrovaný prach síry 1-11 | Morský piesok 100-1200 |
Čas príspevku: jún-14-2022