Technológia vysokočistého plynu je dôležitou súčasťou systému dodávky vysokočistého plynu, ktorý je kľúčovou technológiou na dodanie požadovaného vysokočistého plynu na miesto použitia a pri zachovaní kvalifikovanej kvality;Technológia vysokočistého plynovodu zahŕňa správny návrh systému, výber armatúr a príslušenstva, konštrukciu a inštaláciu a testovanie.Stále prísnejšie požiadavky na čistotu a obsah nečistôt vo vysoko čistých plynoch pri výrobe produktov mikroelektroniky reprezentovaných rozsiahlymi integrovanými obvodmi spôsobujú, že potrubná technológia vysoko čistých plynov sa v posledných rokoch stále viac zaujíma a zdôrazňuje.Nasleduje stručný prehľad vysokočistého plynového potrubia z výberu materiáluof výstavbu, ako aj preberanie a každodenné riadenie.
Druhy bežných plynov
Klasifikácia bežných plynov v elektronickom priemysle：
Bežné plyny(Objemový plyn): vodík (H2), dusík (N2), kyslík (O2), argón (A2), atď.
Špeciálne plynysú SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… atď.
Typy špeciálnych plynov možno vo všeobecnosti klasifikovať ako žieravéplynu, toxicképlynu, horľavýplynu, horľavýplynu, inertnýplynu, atď. Bežne používané polovodičové plyny sú vo všeobecnosti klasifikované nasledovne.
(i) Žieravý/toxickýplynu: HCl, BF3, WF6HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3Cl2, Bc3…atď.
(ii) Horľavosťplynu: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… atď.
iii) horľavosťplynu: O2Cl2, N2O, NF3… atď.
(iv) Inertnýplynu: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He... atď.
Mnohé polovodičové plyny sú škodlivé pre ľudské telo.Najmä niektoré z týchto plynov, ako je SiH4 samovznietenie, pokiaľ únik bude prudko reagovať s kyslíkom vo vzduchu a začne horieť;a AsH3je vysoko toxický, akýkoľvek nepatrný únik môže spôsobiť ohrozenie ľudského života, kvôli týmto zjavným nebezpečenstvám sú požiadavky na bezpečnosť konštrukcie systému obzvlášť vysoké.
Rozsah použitia plynov
Ako dôležitá základná surovina moderného priemyslu sú plynové produkty široko používané a veľké množstvo bežných plynov alebo špeciálnych plynov sa používa v hutníctve, oceliarskom, ropnom, chemickom priemysle, strojárstve, elektronike, skle, keramike, stavebných materiáloch, stavebníctve. , spracovanie potravín, medicína a zdravotníctvo.Použitie plynu má významný vplyv na špičkovú technológiu najmä v týchto oblastiach a je jeho nenahraditeľnou surovinou plyn alebo technologický plyn.Len s potrebami a podporou rôznych nových priemyselných odvetví a modernej vedy a techniky sa môžu produkty plynárenského priemyslu rozvíjať míľovými krokmi v rozmanitosti, kvalite a kvantite.
Aplikácia plynu v mikroelektronike a polovodičovom priemysle
Použitie plynu vždy zohrávalo dôležitú úlohu v polovodičovom procese, najmä polovodičový proces bol široko používaný v rôznych priemyselných odvetviach, od tradičného ULSI, TFT-LCD až po súčasný mikro-elektro-mechanický (MEMS) priemysel, všetky ktoré využívajú ako výrobný proces produktov takzvaný polovodičový proces.Čistota plynu má rozhodujúci vplyv na výkonnosť komponentov a výťažnosť produktov a bezpečnosť dodávky plynu súvisí so zdravím personálu a bezpečnosťou prevádzky závodu.
Význam potrubia vysokej čistoty pri preprave plynu vysokej čistoty
V procese tavenia a výroby materiálu z nehrdzavejúcej ocele sa môže absorbovať asi 200 g plynu na tonu.Po spracovaní nehrdzavejúcej ocele nielen jej povrch lepkavý rôznymi nečistotami, ale aj kovová mriežka absorbovala určité množstvo plynu.Keď cez potrubie prúdi vzduch, kov absorbuje túto časť plynu a znovu vstúpi do prúdu vzduchu a znečistí čistý plyn.Keď je prúd vzduchu v trubici prerušovaný, trubica adsorbuje plyn pod tlakom a keď prúd vzduchu prestane prechádzať, plyn adsorbovaný trubicou vytvorí pokles tlaku, ktorý sa rozloží, a rozpustený plyn tiež vstúpi do čistého plynu v trubici. ako nečistoty.Zároveň sa opakuje adsorpcia a rozlíšenie, takže aj kov na vnútornom povrchu trubice produkuje určité množstvo prášku a tieto častice kovového prachu tiež znečisťujú čistý plyn vo vnútri trubice.Táto charakteristika rúrky je nevyhnutná na zabezpečenie čistoty prepravovaného plynu, čo si vyžaduje nielen veľmi vysokú hladkosť vnútorného povrchu rúrky, ale aj vysokú odolnosť proti opotrebeniu.
Ak sa používa plyn so silným korozívnym účinkom, na potrubie sa musia použiť rúry z nehrdzavejúcej ocele.V opačnom prípade potrubie vytvorí korózne škvrny na vnútornom povrchu v dôsledku korózie a vo vážnych prípadoch dôjde k veľkej ploche odizolovania kovu alebo dokonca perforácie, ktorá kontaminuje čistý plyn, ktorý sa má distribuovať.
Spojenie vysoko čistých a vysoko čistých plynovodov na prepravu a rozvod plynu veľkých prietokov.
V zásade sú všetky zvárané a pri zváraní sa vyžaduje, aby sa pri použitých rúrach nezmenila organizácia.Materiály s príliš vysokým obsahom uhlíka podliehajú pri zváraní vzduchovej priepustnosti zváraných dielov, čím dochádza k vzájomnému prenikaniu plynov vnútri aj mimo potrubia a dochádza k zničeniu čistoty, sucha a čistoty prenášaného plynu, čo má za následok stratu všetko naše úsilie.
Stručne povedané, pre plynovody vysokej čistoty a špeciálne prepravné plynovody je potrebné použiť špeciálnu úpravu rúr z nehrdzavejúcej ocele vysokej čistoty, aby sa vytvoril systém potrubia vysokej čistoty (vrátane rúr, armatúr, ventilov, VMB, VMP) v distribúcia plynu s vysokou čistotou má zásadné poslanie.
Všeobecná koncepcia čistej technológie pre prenosové a distribučné potrubia
Prenos vysoko čistého a čistého plynu s potrubím znamená, že existujú určité požiadavky alebo kontroly pre tri aspekty plynu, ktorý sa má prepravovať.
Čistota plynu: Obsah atmosféry nečistôt v plyne Čistota plynu: Obsah atmosféry nečistôt v plyne, zvyčajne vyjadrený ako percento čistoty plynu, ako napríklad 99,9999 %, vyjadrený aj ako objemový pomer obsahu atmosféry nečistôt ppm, ppb, ppt.
Suchosť: množstvo stopovej vlhkosti v plyne alebo množstvo nazývané vlhkosť, zvyčajne vyjadrené ako rosný bod, ako je rosný bod pri atmosférickom tlaku -70.C.
Čistota: počet častíc kontaminantov obsiahnutých v plyne, veľkosť častíc µm, koľko častíc/M3 vyjadriť, pre stlačený vzduch, zvyčajne vyjadrené aj v tom, koľko mg/m3 nevyhnutných pevných zvyškov, ktoré pokrýva obsah oleja .
Klasifikácia veľkosti znečisťujúcich látok: častice znečisťujúcich látok sa týkajú najmä prania potrubia, opotrebovania, korózie spôsobenej kovovými časticami, časticami atmosférických sadzí, ako aj mikroorganizmami, fágmi a kvapôčkami kondenzácie plynu s obsahom vlhkosti atď., podľa veľkosti ich častíc sa delí na
a) Veľké častice – veľkosť častíc nad 5μm
b) Častica – priemer materiálu medzi 0,1μm-5μm
c) Ultra-mikročastice – veľkosť častíc menšia ako 0,1μm.
Aby sa zlepšila aplikácia tejto technológie, aby bolo možné vnímať veľkosť častíc a jednotky μm, poskytuje sa pre referenciu súbor špecifických stavov častíc
Nasleduje porovnanie konkrétnych častíc
| Názov/veľkosť častíc (µm) | Názov/veľkosť častíc (µm) | Názov/Veľkosť častíc (µm) |
| Vírus 0,003-0,0 | Aerosól 0,03-1 | Aerosolizovaná mikrokvapka 1-12 |
| Jadrové palivo 0,01-0,1 | Farba 0,1-6 | Popolček 1-200 |
| Sadze 0,01-0,3 | Sušené mlieko 0,1-10 | Pesticíd 5-10 |
| Živica 0,01-1 | Baktérie 0,3-30 | Cementový prach 5-100 |
| Cigaretový dym 0,01-1 | Pieskový prach 0,5-5 | Peľ 10-15 |
| Silikón 0,02-0,1 | Pesticíd 0,5-10 | Ľudské vlasy 50-120 |
| Kryštalizovaná soľ 0,03-0,5 | Koncentrovaný sírový prach 1-11 | Morský piesok 100-1200 |
Čas odoslania: 14. júna 2022